EUV-Halbleiterfertigung: Wie Chips aus Plasma-Fladen entstehen

Weder ist das Nanometer-Rennen vorbei noch Moore’s Law tot: Mit extrem ultravioletter Belichtung entsteht die nächste Generation von CPUs, GPUs und weiteren Chips. Von 5G-Smartphones bis zu Cloud-Servern wäre das ohne deutsche Laser und Spiegel und niederländische Systeme nicht möglich. Ein Bericht von Marc Sauter (ASML, Prozessor)
Quelle: Golem