Für höheren Wafer-Durchsatz: ASML steigert EUV-Lichtleistung auf 1.000 W

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EUV-Belichter nutzen bereits beeindruckende Technik – und ASML macht sie noch beeindruckender. Damit sollen stündlich 330 Wafer belichtet werden. (ASML, Wirtschaft)
Quelle: Golem

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